WF6 se uglavnom koristi kao sirovina za proces hemijskog taloženja iz pare (CVD) metalnog volframa u elektronskoj industriji. WSi2 napravljen od WF6 može se koristiti kao materijal za ožičenje u velikim integriranim kolima (LSI), a može se koristiti i kao sirovina za poluvodičke elektrode, fluor Sirovine za hemijska sredstva, katalizatore polimerizacije, optičke materijale itd.